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    Fluid Flow

    测量控制

    适用于高温 Chemical专用流量测量仪及半导体药液使用工序供应、出料监视及控制用系统、使用量累计及管理系统等多种工序的超精密流量测量控制系统。
    以高难度的技术为基础,在测量控制自动化领域的产品制造及系统开发领域扩大技术实力,并致力于制造半导体装置的超精密流量测量控制系统。

    • 药业使用工序(供应或出料监控及控制)

    • 设备改造改善

    • 新材料

    • 半导体(FPD)制造装置

    • Chemical Flow Sensor
      流体通过时， WHEEL 旋转并输出与流速成正比的Pulse Signal，因此可以连接Pulse Flow Input Type的 Flow Monitor( Flow Rate, Total, Acc. Total等指示装置)或Batch Controller(定量供应装置), Dispense Controller(定量出料控制器)等用于流量的测量及控制目的。 High Temperature Chemical Flow Sensor & Flow Monitor
    • Flow Controller & Flow Monitor
      拥有适合各工序设备的多种产品，
      可选择使用基本型、多渠道、
      复数渠道等各自的监控模式和控制模式，
      实现大量及长期Data存储功能设置，
      并可实时构建中央监视和远程控制系统。