FLUID FLOW
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Flow Controller & Flow Monitor
CHEMICAL SUPPLY MONITOR
CSM-E260 SERIES -
1. DIW & Chemical 등의 공급감시 2. 독립적인 2-Channel의 공급감시 기능. 3. Channel별 Alarm Relay 출력 4. 설비공급 신호와 연계한 유량 감시 기능 5. Analog Output Type Flow Meter Input
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Flow Controller & Flow Monitor
CHEMICAL SUPPLY MONITOR
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Chemical Flow Sensor
CHEMICAL FLOW SENSOR
SUS FLOW SENSOR -
1. Paddle Wheel Type Flow Sensor 2. 역회전 및 회전와류없는 TYPE 3. 일반 Type대비 우수한 분해능 4. Bubble에 탁월한 안정성(Hunting 최소화) 5. 우수한 정확도 및 재현성 6. 유량범위, Connection Size 변경가능
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Chemical Flow Sensor
CHEMICAL FLOW SENSOR
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Flow Controller & Flow Monitor
CHEMICAL FLOW CONTROLLER
AFM-100 SERIES -
1.설정Volume 또는 Flow Rate에 대한 Inter-Lock 기능 2.Actual K-Factor 및 Frequency, mA 표시기능 3.유량 Accuracy 보정 5-Point Multi Factor 채용 4.5-Digit 7-Segment FND Display를 채용(시인성 및 표시 정밀도 우수) 5.24*48(높이 24mm, 가로 48mm) DIN규격 초소형 Size 6.Bracket Less Type Locking 체결구조
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Flow Controller & Flow Monitor
CHEMICAL FLOW CONTROLLER
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Chemical Flow Sensor
High Temp. CHEMICAL FLOW SENSOR
FNHT-N370 : Max. 30LPM(20LPM) -
1. Paddle Wheel Type Flow Sensor 2. 역회전 및 회전와류없는 Z-Wheel 채용(특허) 3. 일반 Type대비 우수한 분해능 4. 상온 및 고온, 고점도 Chemical 유량측정 가능. 5. Bubble에 탁월한 안정성(Hunting 최소화) 6. 우수한 정확도 및 재현성 7. 유량범위, Connection Size 변경가능
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Chemical Flow Sensor
High Temp. CHEMICAL FLOW SENSOR
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Chemical Flow Sensor
High Temp. CHEMICAL FLOW SENSOR
FNHT-330P -
1. Paddle Wheel Type Flow Sensor 2. 역회전 및 회전와류없는 Z-Wheel 채용(특허) 3. 일반 Type대비 우수한 분해능 Z-Wheel 4. 상온 및 고온, 고점도 Chemical 유량측정 가능. 5. Bubble에 탁월한 안정성(Hunting 최소화) 6. 우수한 정확도 및 재현성 7. 유량범위, Connection Size 변경가능
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Chemical Flow Sensor
High Temp. CHEMICAL FLOW SENSOR