Leak Sensor
漏液/漏水感应
Leak Detecting System是由Leak Sensor和Leak Detector(Controller)组成的漏液感应系统,安装在管道连接部位及液罐、泵周围等漏水、周围等地方持续监控Leak状态,在发现Leak时以警告音及Control System上输出Relay Alarm的方式警告,以防止事故。
SYSTEM CONFIGRATION
- 面积式
- 安装在半导体设备及室内用保管装置等设备的底部,可立即感应滴液,中和 Cleaning后可继续使用的氟树脂LEAK感应传感器。
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药业使用工序(供应或出料监控及控制)
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设备改造改善
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新材料
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半导体(FPD)制造装置
- Film型
- 分为Jacket Type与非Jacket Type,Jacket Type为 Water Free,主要安装在在室外罐与泵周围,不与水、灰尘等异物发生反应,只感应目标化学物质。
- 点
- 可在狭小空间内灵活使用的传感器,主要安装在外部tank周围的sump内部,液体流入时可感应。
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可重复使用传感器
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特定chemical及所有导电液体的感应(可选)
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氟树脂材质,在200度硫酸中也不变形,正常检测
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简便的安装
应用案例
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有害化学物质储存罐
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有害化学物质储存泵
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集水池&沟槽
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实验室&药品保管箱
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半导体设备内部
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仓库储存设施内
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实验室&药品保管箱
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半导体设备内部
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仓库储存设施内